芯明天大負載XP-63X高精度壓電納米定位臺
芯明天XP-63X壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅X軸運動定位臺，內置高可靠性壓電陶瓷，采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，具有剛度大、分辨率高、響應速度快等特點，可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。
特點
· 1~3維自由組合
· 大行程68μm
· 大承載5kg
· 亞毫秒響應時間
體積小、剛度大、響應速度快、閉環(huán)精度高
XP-63X系列壓電納米定位臺特殊的結構設計，具有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點。負載情況下也具有很高的使用頻率，響應時間可以實現(xiàn)亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負載，響應時間僅為5ms。XP-63X系列產品體積小巧，XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm，易于與其他平臺設備集成。
閉環(huán)版本配置應變傳感器，可實時檢測位置信號并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過PID算法對檢測到的位置信號進行修正，從而實現(xiàn)納米級的精密定位。
技術參數(shù)
XP-633.XS
運動自由度： X
標稱行程范圍（0~120V）：48μm
大行程范圍（-20~150V）：68μm
傳感器類型：SGS
閉環(huán)分辨率：2nm
閉環(huán)線性度：0.15%F.S.
閉環(huán)重復定位精度：0.1%F.S.
推/拉力：480/80N
剛度：10N/μm
空載諧振頻率：1.5kHz
大承載：5kg
靜電容量：7.2μF
材質：鋁
重量：450g
應用實例
采用XP-633壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制，從而完成1mN的力控制實驗。
XP-633壓電納米定位臺配套二維宏動臺組成宏微復合機構，應用于精密加工中。
推薦控制器
XP-633為一維壓電納米定位臺，推薦使用E53.D小體積壓電控制器，體積小巧，易于集成。
E53.D壓電控制器
·E53.D
·0~120V/150V輸出
·模擬、上位機通信控制
·帶寬10kHz
·尺寸80×148×27.5mm
kerning:1.0000pt;" >E01.D1壓電控制器
·E01.D1
·0~120V/150V輸出
·平均功率7W/35W
·上位機通信、模擬、旋鈕控制
