產品名稱：P22一維θx向壓電偏轉鏡4mrad
產品型號：P22
產品報價：
產品特點：P22一維θx向壓電偏轉鏡4mrad 是以壓電陶瓷作為驅動元件，內部采用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構設計，外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現單軸或多軸角度偏轉運動，補償量小，確保偏轉鏡具有良好的運動精度和超高的穩定性，通過內置高精度傳感器進行閉環控制，實現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
更新日期：2026-02-26
P22一維θx向壓電偏轉鏡4mrad
P22系列壓電偏轉鏡是一維θx軸偏轉鏡/快反鏡，柔性鉸鏈導向設計具有零摩擦及靜態阻力、優異的導向精度。提供納弧度的分辨率和優異的定位穩定性。光束偏轉范圍可達8mrad, 具有極快的響應速度（毫秒至微秒級），非常適于動態操作（例如跟蹤、掃描、漂移及振動消除）及光學和樣品的靜態定位。
P22一維θx向壓電偏轉鏡4mrad
特性
• θx一維偏轉，zui大偏轉角度4mrad • 閉環定位精度高 • 分辨率高
• 外形超薄 • 亞毫秒響應時間
運動方式 | 頻率負載曲線 | 閉環曲線 |
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| 閉環傳感輸出監測電壓與偏轉鏡輸出偏轉角度成線性關系。
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維θx向壓電偏轉鏡4mrad
小體積、高動態、開環閉環可選 | 結構原理 | ||
壓電驅動俯仰/偏轉臺（快反鏡/傾斜鏡，光束偏轉，相移器）提供比音圈電機類產品更高的加速度及帶寬，θx軸偏轉范圍 4mrad，偏轉分辨率達0.1μrad，開環閉環可選，閉環傳感器包括應變傳感器及電容傳感器，可獲得更高的定位精度。 超小體積設計，具有非常快的響應速度，可帶載Ø15mm的鏡片實現0.8ms的階躍時間。 | 平臺由一個鉸鏈支撐，并且由一個線性壓電促動器推動。鉸鏈確定了軸心點，兼起到給壓電促動器施加預緊力的作用。單個鉸鏈單個促動器設計的優點是結構簡單、體積小巧、性價比高等。 如果角度偏轉時工作環境溫度變化范圍較大，推薦使用差分驅動壓電偏轉鏡。 |
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應用 | 產品測試 |
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• 圖像處理/穩定 • 光束掃描 • 隔行掃描、抖動 • 光束偏擺/穩定 • 光學、激光掃描、通信 • 光過濾/轉換 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡
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