產品名稱：XP-611.XZ二維XZ向壓電納米定位臺 100μm
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產品特點：XP-611.XZ二維XZ向壓電納米定位臺 100μmXP-611.XZ壓電納米定位臺為二維X軸及Z軸運動壓電平移臺，采用機構放大設計原理，內置高性能壓電陶瓷，可實現X軸及Z軸100μm 的位移行程，柔性鉸鏈導向機構無摩擦、無后坐力。可選擇閉環版本定位精度高，是二維精密定位與掃描的理想選擇。
更新日期：2026-02-27
XP-611.XZ二維XZ向壓電納米定位臺 100μm為二維X軸及Z軸運動壓電平移臺，采用機構放大設計原理，內置高性能壓電陶瓷，可實現X軸及Z軸100μm 的位移行程，柔性鉸鏈導向機構無摩擦、無后坐力。可選擇閉環版本定位精度高，是二維精密定位與掃描的理想選擇。
XP-611.XZ二維XZ向運動納米平移臺，產品體積小巧，結構緊湊，可通過與XP-611.Y(即XP-611.X)組合成三維平移臺，是1~3維平面精密定位理想的選擇。例如干涉光路長度校準、顯微或掃描應用中的樣品定位等。XP-611.XZ為壓電驅動、無摩擦、柔性導向系統，實現納米級分辨率和毫秒的響應時間。
特性 XP-611.XZ二維XZ向壓電納米定位臺 100μm
• 二維XZ軸運動 • 位移行程100μm • 小體積 • 毫秒級響應速度 • 納米級定位精度
高穩定性、高諧振頻率、體積小巧 | 傳感器類型 | 頻率負載曲線 | |
XP-611系列壓電納米定位臺采用機構放大設計原理，體積小巧、結構緊湊，XP-611.XZ的尺寸僅為 35×35×34.5mm，易于與其他設備集成安裝。 該系列定位臺采用機構放大原理，位移可達 100μm，空載諧振頻率高、響應速度快，100μm的階躍時間為0.8ms，該系列產品以其高可靠性，高性價比等特點深得工業型用戶的青睞。 |  |  |
高分辨率 芯明天XP-611系列定位臺優異的設計結構，小巧的體積，100μm 的行程，內置高可靠性壓電陶瓷，裝配高精度傳感器，定位精度可以 達到納米級，產品*性良好，已經應用于工業精密自動化加工領域。 芯明天接受產品定制服務，下圖為XP-611的定制型XYZ三維壓電平 臺。
| 應用 • 光纖定位/光學掃描 • 納米壓印 • 納米計量 •微操控 • 納米光刻 • 干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術/半導體技術 •質量保證測試 • 微加工/精密控制 |
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